Estación de sonda completamente automática

Shenzhen Sendongbao Technology Co., Ltd. presenta su serie de estaciones automáticas completas para sondas de obleas, diseñadas para realizar pruebas en obleas de 4 a 12 pulgadas. El equipo admite diversas configuraciones de entornos de prueba, incluyendo temperaturas altas y bajas, voltajes elevados y configuraciones con baja fuga. Con una operación fácil de usar y una estabilidad excepcional en el rendimiento, estos sistemas cuentan con alta precisión, eficiencia notable, mínima vibración y niveles reducidos de ruido.

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Características y beneficios

Diseñado específicamente para aplicaciones en varios chips
- La precisión puede alcanzar hasta ±1 micrón, gracias a un sistema de control de movimiento de bucle cerrado completo que ofrece alta precisión, eficiencia excepcional y un rendimiento de posicionamiento robusto.
- IndexTime puede ser tan bajo como 240 milisegundos, cuenta con una base de mármol y una estructura altamente rígida para ofrecer una alta capacidad de carga, vibraciones mínimas y un movimiento de asentamiento rápido.
- Fuerza máxima de elevación de 750 kgf, con soporte integrado en los cuatro ángulos del eje Z, lo que garantiza una deformación mínima incluso bajo cargas elevadas o condiciones de carga descentrada.
- Rango de temperatura de prueba: de -40 a 200°C. Hemos desarrollado de manera independiente diversos CHUCKs para abordar desafíos críticos en los procesos y lograr un control preciso de la temperatura.

	C300	H300	T300	M300
Ocasiones aplicables	Modelo estándar	Modelo estándar	Adecuado para tres temperaturas	Apto para almacenamiento
Tamaño de oblea aplicable	12 pulgadas / 8 pulgadas
Espesor de oblea aplicable	200–2.200 μm	200–2.200 μm	200–2.200 μm	200–2.200 μm
Precisión general	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm
Tiempo de índice	240ms	240ms	240ms	240ms
	(X/Y: 10 mm,	(X/Y: 10 mm,	(X/Y: 10 mm,	(X/Y: 10 mm,
	Z: 0,5 mm)	Z: 0,5 mm)	Z: 0,5 mm)	Z: 0,5 mm)
Medición de presión basada en agujas	250kgf	250kgf	250kgf	250kgf
Temperatura de prueba	Temperatura ambiente	Temperatura ambiente ~ 150°C	-55 a 200°C	Temperatura ambiente ~ 150°C
Método de conexión de la máquina de prueba	Cable, Atracado Rígido	Cable, Duro	Cable, Duro	Bisagra, Autonivelación
Método de conexión de la máquina de prueba	Atracado directo	Acoplamiento, Directo Acoplamiento	Acoplamiento, Directo Acoplamiento	Bisagra, Autonivelación
Interfaz de comunicación	GPIB, RS232	GPIB, RS232	GPIB, RS232	GPIB, RS232
Dimensiones del equipo	1680 mm (ancho) × 1890 mm, 1680 mm (ancho) × 1890 mm, 1680 mm (ancho) × 2080 mm, 2000 mm (ancho) × 1890 mm
	m(D) * 1490 mm (H)	mm(D) * 14	m(D) * 1490 mm (H)	mm(D) * 14
	90 mm (H) 90 mm (H)
Peso del equipo	2000kg	2000kg	2000kg	2200kg
Requisitos de energía	220 VCA 1,0 kVA	220VAC2.0KVA	220VAC5.7KVA	220VAC2.0KVA
Presión de aire comprimido	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa
Presión de vacío	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa
※ Compatible con dedos de Bernoulli, cumpliendo con los requisitos para láminas delgadas	※ Compatible con personalización de temperatura — -60°C ※	Admite reemplazo automático de tarjetas (APC) ※ Admite la instalación opcional de FFU para cumplir con requisitos de alta limpieza

	C200	H200	T200	T200HV
Ocasiones aplicables	Modelo estándar	Modelo estándar	Adecuado para tres temperaturas	Apto para la Generación 3.5
Tamaño de oblea aplicable	8 pulgadas / 6 pulgadas / 5 pulgadas / 4 pulgadas
Espesor de oblea aplicable	200–2.200 μm	200–2.200 μm	200–2.200 μm	200–2.200 μm
Precisión general	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm	Eje XY: ±1 μm Eje ZF: ±2 μm
Tiempo de índice	250 ms (X/Y: 10 mm, Z: 0,5 mm)	250 ms (X/Y: 10 mm, Z) Z: 0,5 mm)	50 ms (X/Y: 10 mm, Z) 0,5 mm)	50 ms (XY: 10 mm, Z: 0,5 mm)
Medición de presión basada en agujas	150kgf	150kgf	150kgf	150kgf
Temperatura de prueba	Temperatura ambiente	Temperatura ambiente ~ 150°C	-55 a 200°C	-40 a 150°C
Método de conexión de la máquina de prueba	Cable, Atracado Rígido	Cable, Atracado Rígido	Cable, Atracado Rígido	Cable, Atracado Rígido
Interfaz de comunicación	GPIB, RS232	GPIB, RS232	GPIB, RS232	GPIB, RS232
Dimensiones del equipo	1300 mm (ancho) × 1542 mm, 1300 mm (ancho) × 1542 mm, 1300 mm (ancho) × 1740 mm, 1300 mm (ancho) × 1740 mm
Dimensiones del equipo	m(D) × 960 mm (H)	mm(D) × 960 mm(H)	m(D) × 960 mm (H)	mm(D) × 960 mm(H)
Peso del equipo	1200kg	1200kg	1200kg	1200kg
Requisitos de energía	220 VCA 1,0 kVA	220VAC2.0KVA	220 VAC 5,7 kVA	220VAC5.7KVA
Presión de aire comprimido	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa	≥0,6 MPa
Presión de vacío	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa	≤ -60 kPa
※ Compatible con dedos de Bernoulli, cumpliendo con los requisitos para láminas delgadas	※ Compatible con personalización de temperatura — Hasta -60°C	※ Admite cambio automático de perfil (APC)	※ Compatible con la modernización de FFU, completamente cargado	Requisitos de limpieza de alto nivel

全自动晶圆探针台

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19874522745

miles@cindbest.com

Unidad A, 1er piso, Edificio 2, Parque Científico Digital Jiayiyuan, Comunidad Xinshi, Subdistrito de Dalang, Distrito de Longhua, Ciudad de Shenzhen

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