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Estación de sonda semiautomática de la serie CP

Sistema de Visualización Óptica con Multiplicación de Magnificación

Compatible con pruebas de ensayo y dicing de obleas de 12”, 8”, 6” y 4”

El sistema interno de suspensión neumática aísla eficazmente las vibraciones externas.

Sistema de control integrado para acceso rápido a las pruebas de instrumentos

Pruebas de automatización de software, calibración precisa de la exactitud mecánica

Velocidad de desplazamiento del eje X-Y: 70 mm/seg, precisión de posicionamiento repetido: ≤±1 μm

Velocidad de desplazamiento del eje Z: 20 mm/seg, Repetibilidad de posicionamiento del eje Z: ≤ ±μm

Precisión del eje R: 0,0001°, precisión de posicionamiento repetido: ≤±1 μm

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