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Mordazas de temperatura personalizadas
Portaherramientas de calentamiento para altas y bajas temperaturas en pruebas de semiconductores,
Realizado sobre obleas o chips bajo diversas condiciones térmicas.
-65° ℃ -300° ℃, enfriamiento por aire CDA, enfriamiento eléctrico
Uniformidad de temperatura ± 0,5 ℃,
Tensión máxima soportada 10 KV,
Corriente máxima soportada 500 A
Precisión de fuga 300 fA
Accesorios
- Descripción
- Parámetros
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El mandril de calentamiento de alta y baja temperatura de la estación de prueba es un componente crucial en las pruebas de semiconductores, ya que permite un control preciso de la temperatura de las muestras y posibilita realizar pruebas de rendimiento eléctrico en obleas o chips bajo diversas condiciones térmicas.
Destacados de la función:
- Amplio rango de temperatura: Las pinzas térmicas estándar chapadas en oro/níquel de Cindbest funcionan desde -10°C hasta 600°C, mientras que las pinzas semiautomáticas personalizadas están disponibles en un rango de temperatura de -60°C a 300°C.
- Control de temperatura de alta precisión: Disponible con resoluciones de temperatura que van desde 0,1°C, 0,01°C, hasta incluso 0,001°C, y ofreciendo una estabilidad de temperatura tan precisa como ±1°C o ±0,1°C.
- Control rápido de temperatura: El mandril cuenta con tecnología avanzada de enfriamiento y calentamiento, lo que permite transiciones de temperatura mucho más rápidas en comparación con los sistemas convencionales.
- Adsorción por vacío: La oblea se mantiene firmemente en su lugar durante las pruebas al ser aspirada hacia la superficie mediante canales de vacío. Algunos portabobinas incluso cuentan con canales de vacío independientes, lo que les permite acomodar obleas de diversos tamaños.
- Diseño Estructural:
- Superficie lisa: El plato presenta una alta planitud de superficie; en condiciones normales, la planitud de la superficie puede alcanzar hasta 10 µm, lo que garantiza un excelente contacto entre la oblea y el plato, asegurando así una distribución uniforme de la temperatura y una precisión en las pruebas.
- Los chucks suelen diseñarse para ser delgados, lo que facilita su integración con las sondas y también favorece la transferencia de calor.
- Interfaces diversas: La superficie del portabrocas suele presentar un chapado en oro o níquel para minimizar la resistencia de contacto, incorpora una función de flotación eléctrica e incluye un punto de conexión a tierra. Algunos modelos incluso ofrecen una opción de tres ejes para mediciones con baja fuga y bajo ruido.
- Métodos de enfriamiento y calefacción:
- Refrigeración por aire: Utiliza refrigeración por aire, eliminando la necesidad de líquidos o elementos Peltier. Ofrece alta seguridad al tiempo que proporciona las ventajas de un diseño compacto y ahorrador de espacio para el refrigerante.
- Enfriamiento con nitrógeno líquido: Utilizando nitrógeno líquido, este sistema puede alcanzar temperaturas extremadamente bajas, como -196°C, con control automático de temperatura.
- Áreas de aplicación: Utilizado principalmente para el análisis del rendimiento eléctrico dependiente de la temperatura de dispositivos y obleas semiconductoras, incluyendo pruebas de modelado de dispositivos de potencia, evaluaciones de confiabilidad de obleas, inspecciones de ciclos térmicos a nivel de producción, pruebas optoelectrónicas dependientes de la temperatura y pruebas de ciclos térmicos en RF, entre otras. -
(1) Mandril coaxial anular de temperatura ambiente de 8 pulgadas
Cindbest TCNRC200
● Diámetro del mandril 200 mm, planitud ± 10 µm (tras compensación)
Señalado La planitud del mandril durante el movimiento general está compensada por el software de prueba semiautomático de la estación de sondas.
● Material: Aleación de aluminio chapada en níquel o chapada en oro, acero inoxidable
● Tamaño de la muestra para adsorción: Tamaño convencional del grano cristalino de 50–150–200 mm, mínimo 10 x 10 mm para placas de calibración, escamas y fragmentos (mandril auxiliar)
● Anillo de vacío: 15, 40, 70, 105, 140, 165, 190 mm Control del área de adsorción: control por software (50, 150, 200 mm)(2) Mandril triaxial anular de 8 pulgadas a temperatura ambiente
Cindbest TCNRT200
● Diámetro del mandril 200 mm, planicidad ± 10 um (tras compensación)
● Material: Aleación de aluminio chapada en níquel o oro, acero inoxidableSe observa: En cuanto al material del portabrocas: Para aplicaciones de alta potencia,
Elija chapado en oro; mientras que para aplicaciones de electrodos traseros, elija chapado en oro o chapado en níquel. Los materiales comunes suelen ser acero inoxidable.
● El mandril tiene una estructura de tres ejes con una capa de placa superior, una capa protectora y una capa de apantallamiento de tierra.
● Tamaño de la muestra de adsorción: tamaño convencional del grano cristalino 50, 150, 200 mm, tamaño mínimo del fragmento 10 x 10 mm (mandril auxiliar)
● Anillo de vacío: 15, 40, 70, 105, 140, 165, 190 mm
● Control del área de adsorción: control por software (50, 150, 200 mm)
● Corriente de fuga: 200 fA/V a 25 ℃ (condiciones de prueba: ambiente seco con blindaje de tierra)(3) Mandril coaxial poroso a temperatura ambiente de 8 pulgadas
Cindbest TCNPC200●Diámetro del mandril 200 mm
●Material: Aleación de aluminio chapada en níquel o oro, acero inoxidable
●Tamaño de la muestra de adsorción: Tamaños convencionales de obleas 50, 150, 200 mm, tamaño mínimo de fragmento 10 x 10 mm (mandril auxiliar)
●Adsorción porosa, poro de vacío: 0,5 mm
●Control del área de adsorción: control por software (50150200 mm)(4) Mandril poroso de tres ejes a temperatura ambiente de 8 pulgadas
Cindbest TCNPT200●Diámetro del mandril 200 mm
●El mandril tiene una estructura de tres ejes con una capa de placa superior, una capa protectora y una capa de apantallamiento de tierra.
●Material: Aleación de aluminio chapada en níquel o oro, acero inoxidable
●Tamaño de la muestra para adsorción: tamaño convencional de los granos cristalinos 50–150–200 mm, tamaño mínimo del fragmento 10 x 10 mm (mandril auxiliar)
●Adsorción porosa, poro de vacío: 0,5 mm
●Control del área de adsorción: control por software (50, 150, 200 mm)
●Corriente de fuga: 200 fA/V @ 25 °C (condiciones de prueba: ambiente seco con blindaje a tierra)
●Adecuado para láminas delgadas con un grosor inferior a 200 um(5) Mandril triaxial anular de alta temperatura de 8 pulgadas
Cindbest TCFRT200●Diámetro del mandril 200 mm
●Método de adsorción por vacío: orificio central de adsorción + ranura periférica de adsorción con múltiples anillos,Mandril de control independiente con partición para estructura de tres ejes, con capa de placa superior, capa protectora y capa de apantallamiento a tierra.
●Rango de control de temperatura de Chuck:
de temperatura ambiente a 200°C, la uniformidad de la temperatura del mandril es <± 1 °C,
La estabilidad de temperatura es +0,1 °C, la precisión del control es 0,1 °C, y la precisión de la pantalla es 0,1 °C.
Corriente de fuga: Tri-eje 200fAV @ 25 °C (condiciones de prueba: ambiente seco con blindaje de tierra)
● La tasa de aumento y disminución de la temperatura del horno es la siguiente: +25 °C a +200 °C: ≤ 30 min; -200 °C a +25 °C: ≤ 30 min